Übersicht RD Mathis Vakuumverdampferquellen
Wolframstab-Verdampfungsquellen für Wolfram
RD Mathis Micro-Electronic Bedampungsquellen

R D Mathis gefaltete Verdampferquellen mit Umlenkblech und Deckel
Verdampfungs-Schiffchen mit gefalteten Umlenkblechen und größerem Fassungsvermögen, hergestellt aus Ta und Mo

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• • Gefaltete Verdampferquellen mit Umblenkblech und gelochtem Deckel 
  • Folded baffle box evaporation source type SB7, 89 x 25mm, 21cc
  • Folded baffle box evaporation source type SB8, 89 x 38mm, 43cc
  • Folded baffle box evaporation source type SB9, 121 x 35mm, 50cc
  • Folded baffle box evaporation source type SB10, 102 x 51mm, 112cc

Beispiel für gefaltete Verdampferquelle mit Umlenkblech und gelochtem Deckel

Einleitung

Die gefaltete Verdampfungsquellen mit Umlenkblech werden durch Falten der Tantal- oder Molybdänfolie zu einem Verdampfungsschiffchen mit separaten Umlenkblechen und Deckel mit Löchern hergestellt. Diese gefalteten Verdampfungs-Schiffchen sind ideal für größere Mengen an Materialien und können entweder allein oder mit Umlenkblech und Deckel verwendet werden, um die Menge an Partikeln im Metalldampf-Strom zu reduzieren. Die Quelle mit Umlenkblech und gelochtem Deckel verhindert, dass Materialien auf das Substrat gespritzt werden. Die gefalteten Verdampfungsquellen sind in Tantal und Molybdän mit unterschiedlichen Foliendicken (0,13 und 0,25 mm) erhältlich. Sie werden als direkte Widerstandsheizquellen für die Aufwärtsverdampfung verwendet, d.h. die Substrate werden über der Quelle montiert.

Abmessungen der Verdampferquellen mit Umlenkblech und Deckel

Art. Nr.	Bl	W	H	OL	P = Löcher im Deckel	Vol.	Mat.	Dicke
72-SB7	44mm	25mm	19mm	89mm	60 x Ø1.5mm / 4 x 15 Reihen	21cc	Ta/Mo	0.13/0.25mm
72-SB8	44mm	38mm	25mm	89mm	60 x Ø1.5mm / 5 x 15 Reihen	43cc	Ta/Mo	0.13/0.25mm
72-SB9	76mm	35mm	19mm	121mm	115 x Ø1.5mm / 5 x 23 Reihen	50cc	Ta/Mo	0.13/0.25mm
72-SB10	70mm	52mm	32mm	102mm	65 x Ø3mm / 5 x 13 Reihen	112cc	Ta/Mo	0.13/0.25mm

Die Verdampferquellen mit Umlenkblech sind geeignet für:

• Verdampfungsmittel, die dazu neigen, während des Verdampfungsprozesses Partikel zu spucken oder freizusetzen
• Dünnschichtverdampfungsprozesse zur Metallisierung von Oberflächen
• Produktionszyklen mit größeren Mengen an Verdampfungsmitteln
• Eine große Vielfalt an Materialien
• Energiequellen mit höherer Leistung
• Anwendungen für Forschung und Produkt-Entwicklung

Bestellinformation zu Verdampferquellen mit Umlenkblech und gelochtem Deckel:.

Gefaltete Baffle-Box Verdampferquelle Type SB7, 89 x 25 mm, 21 cm3 Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage 72-SB7ATa-1 Tantal-Verdampfungsschiffchen SB7A, 2,28 Volt, 572 A, 1304 Watt, 1600⁰ C Temp, 21 cm3, 0,13 mm Ta Anz: Stück €130,40 72-SB7ATa-2 Tantal-Verdampfungsschiffchen SB7A, 2,10 Volt, 680 A, 1428 Watt, 1600⁰ C Temp, 21 cm3, 0,25 mm Ta Anz: Stück €236,30 72-SB7BTa-1 Tantal Baffle-Blech SB7BTa für Verdampfungsschiffchen SB7ATa, 2,28 Volt, 572 A, 1304 Watt, 1600⁰ C Temp, 0,13 mm D Tantal Anz: Stück €47,30 72-SB7CTa-1 Tantal-Deckel SB7CTa mit 60 x Ø 1.5 mm Löcher für Verdampfungsquelle SB7A, 2,28 Volt, 572 A, 1304 Watt, 1600 °C, 0,13 mm D Tantal Anz: Stück €69,90 72-SB7AMo-1 Molybdän-Verdampfungsschiffchen SB7A, 1,21 Volt, 547 A, 662 Watt, 1400⁰ C Temp, 21 cm3, 0,13 mm Mo Anz: Stück €49,10 72-SB7AMo-2 Molybdän-Verdampfungsschiffchen SB7A, 1,08 Volt, 705 A, 761 Watt, 1400⁰ C Temp, 21 cm3, 0,25 mm Mo Anz: Stück €60,50 72-SB7BMo-1 Molybdän Baffle-Blech SB7BMo für Verdampfungsschiffchen SB7BMo, 1,21 Volt, 547 A, 662 Watt, 1400⁰ C Temp, 0,13 mm D Mo Anz: Stück €26,50 72-SB7CMo-1 Molybdän-Deckel SB7CMo mit 60 x Ø 1.5 mm Löcher für Verdampfungsquelle SB7C, 1,21 Volt, 547 A, 662 Watt, 1400 °C, 0,13 mm D Mo Anz: Stück €47,30

Gefaltete Baffle-Box Verdampferquelle Type SB8, 89 x 38 mm, 43 cm3 Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage 72-SB8ATa-1 Tantal-Verdampfungsschiffchen SB87A, 2,51 Volt, 880 A, 2209 Watt, 1600⁰ C Temp, 43 cm3, 0,13 mm Ta Anz: Stück €187,10 72-SB8ATa-2 Tantal-Verdampfungsschiffchen SB8A, 2,36 Volt, 115 A, 2631 Watt, 1600⁰ C Temp, 43 cm3, 0,25 mm Ta Anz: Stück €292,40 72-SB8BTa-1 Tantal Baffle-Blech SB8BTa für Verdampfungsschiffchen SB8ATa, 2,51 Volt, 880 A, 2209 Watt, 1600⁰ C Temp, 0,13 mm D Tantal Anz: Stück €64,30 72-SB8CTa-1 Tantal-Deckel SB8CTa mit 60 x Ø 1.5 mm Löcher für Verdampfungsquelle SB8A, 2,51 Volt, 880 A, 2209 Watt, 1600 °C, 0,13 mm D Tantal Anz: Stück €86,90 72-SB8AMo-1 Molybdän-Verdampfungsschiffchen SB8A, 1,44 Volt, 5850 A, 1224 Watt, 1400⁰ C Temp, 43 cm3, 0,13 mm Mo Anz: Stück €58,60 72-SB8AMo-2 Molybdän-Verdampfungsschiffchen SB8A, 1,39 Volt, 1042 A, 1448 Watt, 1400⁰ C Temp, 43 cm3, 0,25 mm Mo Anz: Stück €71,80 72-SB8BMo-1 Molybdän Baffle-Blech SB7BMo für Verdampfungsschiffchen SB8BMo, 1,44 Volt, 850 A, 1224 Watt, 1400⁰ C Temp, 0,13 mm D Mo Anz: Stück €30,20 72-SB8CMo-1 Molybdän-Deckel SB8CMo mit 60 x Ø 1.5 mm Löcher für Verdampfungsquelle SB8C, 1,44 Volt, 850 A, 1224 Watt, 1400 °C, 0,13 mm D Mo Anz: Stück €62,40

Gefaltete Baffle-Box Verdampferquelle Type SB9, 121 x 35 mm, 50 cm3 Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage 72-SB9ATa-1 Tantal-Verdampfungsschiffchen SB9A, 3,44 Volt, 750 A, 2580 Watt, 1600⁰ C Temp, 50 cm3, 0,13 mm Ta Anz: Stück €200,30 72-SB9ATa-2 Tantal-Verdampfungsschiffchen SB9A, 3,40 Volt, 998 A, 3393 Watt, 1600⁰ C Temp, 50 cm3, 0,25 mm Ta Anz: Stück €359,10 72-SB9BTa-1 Tantal Baffle-Blech SB9BTa für Verdampfungsschiffchen SB9ATa, 3,44 Volt, 750 A, 2580 Watt, 1600⁰ C Temp, 0,13 mm D Tantal Anz: Stück €69,90 72-SB9CTa-1 Tantal-Deckel SB9CTa mit 60 x Ø 1.5 mm Löcher für Verdampfungsquelle SB9A, 3,44 Volt, 750 A, 2580 Watt, 1600 °C, 0,13 mm D Tantal Anz: Stück €107,70 72-SB9AMo-1 Molybdän-Verdampfungsschiffchen SB9A, 1,87 Volt, 731 A, 1367 Watt, 1400⁰ C Temp, 50 cm3, 0,13 mm Mo Anz: Stück €64,30 72-SB9AMo-2 Molybdän-Verdampfungsschiffchen SB9A, 1.62 Volt, 890 A, 1442 Watt, 1400⁰ C Temp, 50 cm3, 0,25 mm Mo Anz: Stück €77,50 72-SB9BMo-1 Molybdän Baffle-Blech SB7BMo für Verdampfungsschiffchen SB9BMo, 1,87 Volt, 731 A, 1367 Watt, 1400⁰ C Temp, 0,13 mm D Mo Anz: Stück €39,70 72-SB9CMo-1 Molybdän-Deckel SB9CMo mit 60 x Ø 1.5 mm Löcher für Verdampfungsquelle SB9C, 1.87 Volt, 731 A, 1367 Watt, 1400 °C, 0,13 mm D Mo Anz: Stück €68,00

Gefaltete Baffle-Box Verdampferquelle Type SB10, 102 x 51 mm, 112 cm3 Artikel # Einheit Preis Bestellung / Anfrage 72-SB10ATa-1 Tantal-Verdampfungsschiffchen SB10A, 3.66 Volt, 1220 A, 4465 Watt, 1600⁰ C Temp, 112 cm3, 0,13 mm Ta Anz: Stück €281,60 72-SB10ATa-2 Tantal-Verdampfungsschiffchen SB10A, 3,37 Volt, 1550 A, 5224 Watt, 1600⁰ C Temp, 112 cm3, 0,25 mm Ta Anz: Stück €508,40 72-SB10BTa-1 Tantal Baffle-Blech SB10BTa für Verdampfungsschiffchen SB10ATa, 3,66 Volt, 1220 A, 4465 Watt, 1600⁰ C Temp, 0,13 mm D Tantal Anz: Stück €92,60 72-SB10CTa-1 Tantal-Deckel SB10CTa mit 60 x Ø 1.5 mm Löcher für Verdampfungsquelle SB10A, 3,66 Volt, 1220 A, 4465 Watt, 1600 °C, 0,13 mm D Tantal Anz: Stück €126,60 72-SB10AMo-1 Molybdän-Verdampfungsschiffchen SB10A, 2,11 Volt, 1222 A, 2578 Watt, 1400⁰ C Temp, 112 cm3, 0,13 mm Mo Anz: Stück €86,90 72-SB10AMo-2 Molybdän-Verdampfungsschiffchen SB10A, 2,02 Volt, 1530 A, 3091 Watt, 1400⁰ C Temp, 112 cm3, 0,25 mm Mo Anz: Stück €104,00 72-SB10BMo-1 Molybdän Baffle-Blech SB10BMo für Verdampfungsschiffchen SB10BMo, 2,11 Volt, 1222 A, 2578 Watt, 1400⁰ C Temp, 0,13 mm D Mo Anz: Stück €41,60 72-SB10CMo-1 Molybdän-Deckel SB10CMo mit 60 x Ø 1.5 mm Löcher für Verdampfungsquelle SB10C, 2,11 Volt, 1222 A, 2578 Watt, 1400 °C, 0,13 mm D Mo Anz: Stück €85,10

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